无尘无菌室运转管理指南 (日本方案)

前言：
为提高各机器之信赖性，耐久性与减少维修次数((MAINTENANCEFREE)，如何控制污染(CON-TAMINATIONCONTROL)其重要性愈增。
从第2次世界大战后对航空仪器及有关精密机器类之生产，为确保所预期之性能，乃用各种方法将装配区域之空气保持清凈，尤其进行电子仪器之微小化,及要增加产品之合格率，更费各种努力使机器与零件尽量不被污染。为达到上述目的对上述之生产场所装设无尘无菌室或其他空气清凈化设备，以控制空气之污染。但不可否认的事就是仅装设了上述清凈设备仍不能达到预期之清凈度水准，因此为有效而充分地发挥此种有关设备之效果，必须经过专家正确之指导与训练，而小心谨慎地操作使用，乃是很重要之课题。本文乃针对要使用无尘无菌室或其他空气清凈设备之有关技术人员及操作人员在使用该项设备时，应注意之事项提出研讨。

1.适用范围
本运转管理指针是包含JISB9922(CLEANBENCH)1(适用范围)之备注栏上所规定之比清凈度等级3更清凈之无尘室设备。同时规定该无尘室之安全及如何维持所要求之清凈度水准所必须遵守之运转管理事项。

备考﹕无尘室内之清凈度乃随作业员之人数、健康状态、生活习惯、动作及穿用之无尘衣、管理之是否适当、优劣而有显着之变化。

备考：本指针虽然规定保证对0.5μm以上之微粒子之清凈度等级在操作时应遵守之事项，但对BIO-LOGICALCLEAN设备之有些项目也可适用，另者有些项目也可适用于0.1μm～0.5μm之微粒子。

2.术语解释
本运转管理指针除下面所述之外，均依照JISZ8122(CONTAMINATIONCONTROL术语)。
(1)无尘室操作人员
所谓操作人员是指负责管理无尘室内保持规定之清凈度等级，使生产顺利之专门人员及在里面工作之作业员而言。
(2)无尘室用衣服类
是指无尘室内作业员穿用之无尘衣?、帽子、罩子、脚套、手套及口罩而言。

备注无尘衣乃指上下套衣（连套）或一套上衣、下衣乃外套(COAT)而言。　

3.无尘室操作人员
3.1.无尘室之专门人员
在装设无尘室之前必须训练1位或数位专门人员使其能够讲解、教育并训练操作人员或作业员瞭解并熟练如何维持制造设备、产品之原材料、半制品适当之清凈度标准及安全管理是非常重要的。
该专门人员必须具备有关CONTAMINATIONCON–TROL之广范之知识及丰富之经验。由于有关此种技术是天天在进步，故必须时常把握技术之进步状况并有研究心及进取心，随时学习最新技术以免落后。此种专门人员必须熟习下列所述各种项目，并保持良好之状态，对于重要项目必须有正确之记录存檔。
3.1.1.无尘室专门人员应负责之事项
当然上述专门人员必须负责，使生产能够有效率地进行并符合其清凈度条件，但具体上须包含下列事项。
[1]制品
对产品必须熟知下列事项并能给予适当之指令，且对产品有旺盛之研究心为要。
(a)有技术能力能决定产品所要求之清凈度标准。
(b)熟习产品或零配件之机能，制造方法及适当之清凈化技术。
[2]各种产品制造用无尘室必须熟习下列事项，并能给予适当之指令。
(a)构造、性能、可能达到之清凈度标准之限度。
(b)如有必要提高清凈度标准(比现状)时应采取之方策。
(c)无尘室之监视方法(MONITORINGMETHOD)
(d)无尘室运转不正常时应采取之方策(处理方法)
(e)无尘室之维修方法。
(f)无尘室之安全对策。
(g)日常之运转与停机。
[3]进入无尘室人员之管理
(a)进入无尘室的人员必具备要达成高清凈度标准并要维持最好之状态之观念。专门人员要经常监视其入室人员有无遵守规定。
(b)进入无尘室之人员维持最小限度为原则(愈少愈好)。
(c)专门人员或值班人员对进入无尘室之人员应做下列内容之记录。
(1)上、下各别进入人员数量其工作时间。
(2)正式作业员以外之人员进入数量、进入年月日、及进出进间。
(d)下列所述者不能进入无尘室
(1)非作业员或事先未得许可者。
(2)未照规定穿无尘衣者。
(3)如做激烈运动流汗者。
(4)抽烟或吃东西以后未经过半小时以上者。
(e)如下列健康状态或体质者原则上不能进入无尘室
(1)因日晒、湿疹或烫伤而皮肤有问题者。
(2)对化学纤维有过敏性之体质者。
(3)对溶剂等化学药剂有过敏性之体质者。
(4)容易出手汗者。
(5)容易流鼻水及从鼻子常流排出物者。
(6)感冒、或患哮喘病、常咳嗽或容易打喷嚏者。
(7)比一般人皮层表皮容易剥离、头皮或体毛容易掉落。
(8)化妆或涂口红者。
(9)经常有搔抓习者。
(10)有精神病、神经过敏或闭锁性恐惧症者。
[4]对作业员之教育及训练对作业员之教育及训练乃专门人员之重大任务之一，专门人员必须经常向作业员指示易理解之有关清凈度管理之资料(DATA)加以教育与训练。
对作业员之教育与训练应考虑之重要项目如下：
(a)有关清凈度管理之一般常识。
(b)无尘室内设备之构造与功能。
(c)在无尘室内之作业内容。
(d)无尘室设备之维护与清洁。
(e)无尘室内制品及作业员之流动路线。
(f)无尘室用搬运容器之管理。
(g)作业员之保健与卫生。
(h)安全对策(突然发生灾害时之处理)。
(I)无尘衣之穿脱、步行方法(不能拖地行走)等在无尘室内之行动。
(j)搬进器材之清凈管理及清凈度之检查等。
[5]无尘室之运转与停止无尘室之运转与停止依下列顺序行之：
(a)作业开始前，须做预备运转使其达到所规定之清洁度
(b)作业终了后立即做清扫工作，俟回复所规定之清凈度标准后才停止运转。但为保护产品之清凈度有时须维持一部分机器之运转。
(c)发生火灾或地震等异常情况时必须立刻停止运转。
(d)无尘室之运转记录须由专门人员或值班者制作，而由专门人员做定期查核(RECULARCHECK)
[6]无尘室设备之管理与记录依照表3-1(无尘室之管理、记录项目)所列之项目，确认是否正常运转中，异常情况之发现与处理、污染原因之查明，为产品品质管理上基础资料之搜集，须做记录并管理。
(a)管理与记录
(1)有关无尘室设备专门员为对异常情况发生时能够立刻处理，须准备适当登记薄。该登记薄应注明设备之运转顺序、管理方法、异常情况发生时之处理顺序之外，也注明管理者或有关供应商之连络地址、电话等。有关供应商或承包商包括该无尘室之建筑设计师，施工业者、空调设备设计者、施工业者、卫生设备设计、施工业者、公用(UTILITY)设备设计者、施工业者、安全设备设计者、施工业者、有关水电设备设计者、施工业者及维护管理者、无尘室运转设备业者 、有关制造设备 业者、无尘衣有关业者、无尘室用品类有关业者等。

(2)无尘室
日常运转记录如日报表、月报表等由专门人员制作并做定查核。

表3-1无尘室之管理、记录项目

	无 尘 室 之运 转 、 停 止	监 视	人 员	衣 服 交 换 检 查	检 查修 理 交 换	清 扫	物 品搬 入 搬 出 ( 清 凈 化 )	检查	其 他装 置、设 备( 在室内者 )
日报	开 始 时 刻 运 转 者停 止 时 刻 运 转 者压 力、清 凈 度温 湿 度作 业 时 间	空 气 压温 湿 度 分 布( 视作业之必要 )	负 责 者专 门 人 员进 出 人 数健 康 人 数局外人姓名	交 换记 录修 理洗 衣	时 间项 目内 容作 业 者	时 间场 所作 业 者	时 间物 品数 量检查清凈化负 责 者	-	-
月报	运 转 时 间 次 数停 机 时 间( 清 凈 度 )作 业 时 间	风 速风 量温 湿 度 分 布浮 游 粒 子 浓 度 有害瓦斯微生物	进 出 人 数局 外 人 数	修 理洗 衣废 弃( 件 数 )	件 数	月 别认 定	次 数	检 查	安全设备之检 查、试 验
年报	总 运 转 时 间停 机 次 数停 机 时 间作 业 时 间	气 流查 漏 试 验	总进出人数局外人总数	修 理次 数洗 衣 次 数 废 弃 数	〝件 数	-	-	检 查校 正 检 查	测 定 器 之检 验校 正机 能 检 查

(3)空调设备
I)依5.5(于无尘室内之监视系统)之记录，检查清凈度、风速、风量、空气压、温湿度是否正常。如需要加湿时对水质问题也须要做定期检查，是否维持适当之状态。
Ⅱ)如发现异常现象时根据登记薄立即找该承包商或自己修理、处理。
(4)卫生(洗手、洗脸、厕所)设备最少一年一次检查其机能，确认无异常并做记录。
(5)公用(UTILITY)设备
Ⅰ)电气
1年1次依照保安基准检查并做记录。
Ⅱ)纯水
依照厂商之使用手册(MANUAL)检查并做记录。
Ⅲ)药品
确认消费量是否适当(有无浪费)并做记录。
Ⅳ)瓦斯（GAS）
请专家做检查与维护，其内容须记录下来。
Ⅴ)其他(排水、排液、排气系统等)
●依照处理基准做检验与检查并做记录。
●发现有异常现象时依登记薄名单立即找承包商来做检查、修理工作并记录其内容。
(6)安全设备
Ⅰ)每个月1次确认安全设备之有效期限，必要时做检查与记录。
Ⅱ)发现异常或缺少该项设备时立即根据登记薄名单找承包商做处理或另购备用。
(7)物品之搬入与搬出对无尘室之物品之搬入搬出次数尽量减少为原则。
依据5.4(对无尘室器材搬入搬出规定)管理，并由值班人员(负责人员)每次记录年月日、时间、品名及数量。
(8)无尘衣依据4.2(无尘衣之管理)管理及记录
(b)检查与修理当做设备及装置之检查、修理或交换时，做完后须记录实施年月日，所费时间、修理及检查之内容及施工者(业者)也记录其负责者姓名。此等记录由专家认定。
(c)预备品之整修与记录
(1)清鞋器，脚踏粘布(GELATINMATS)，移动式真空吸尘器用过滤纲，洗手器，自动手烘干机等清洁用各种设备另件或配件之交换及修理用之备品是否有库存须做定期检查，如不足须做补充并登记。
(2)上述备品维持最少必备量(以免浪费)。
(D)设施之清洁记录设施之清洁依照5.6.(无尘室设备之清洁)这施，做完后加以检查，确认后记录其日时，工作内容。

3.2.无尘室之作业员为使无尘室之运转正常顺利，须具备受专业训练之人员，当然在开始时不能马上有上述人员，当可考选适合之人材加以训练采用之。该作业员在无尘室内受到各种限制与规定，在心理上与肉体上产生些不习惯或压力，针对这些问题在人事管理上必要考滤些适当之处理方法。应使这些作业员有身负重大任务之荣誉感与责任心。因在无尘室内工作之作业员比在非清洁区域工作之作业员更要小心环境之清洁，并维持适当之清凈标准，故须多花精神与时间训练他们。又因在无尘室内工作之作业员因经常处在如封闭之房间内，故必须对设备、作业、物品等给他们方便、特别之关心与协助。

3.2.1.无尘室作业员之考选
对无尘室作业员之考选如能召集经营业者、劳保医师、微生物学者、应用心理学者以协议之方法考选，乃最理想也。作业员虽经过训练而赋予作业员之资格，但经训练后对下列事项未能矫正者应淘汰之。对化学纤维、溶剂等有过敏者，容易出手汗者。有重大精神病、神经过敏者或闭锁恐惧症者。因哮喘咳嗽或打喷嚏者，不能安静工作者。另者，欢迎拥有如下列性格的人物：一做事细心而有耐性者。勤于整理整顿，经常注意身边清洁的人。经常留意自己之健康者。
3.2.2.在无尘室作业的人员平常须注意之事项如下：
[1]每天洗澡，保持身体之清洁。
[2]每周最少1～2次洗头发，以减少头皮屑之产生。
[3]男性必须每天早晨刮胡子。
[4]须经常保持干凈之手要常常洗、剪指甲、擦拭HANDCREAM或HANDLOTION以防皮层之剥离。
[5]为保持手之毛细孔之干凈，应避免浸入粉类等家事或会引起手粗糙之家事。
[6]因皮层直接接触溶剂或中性洗剂时天然之皮脂会掉失而产生皮层之剥离，故避免直接接触这些溶剂
或洗剂。
[7]预防下列症状，平常须注意一下列事情：感冒、日晒，会引起手粗糙之家事，皮层之冻裂或变粗糙、湿疹、外伤等。
[8]经常整理或整顿工作环境。
3.2.3.不能带进无尘之物品如下列各项：
[1]没有经过清洁过程之器材、备品、测定器等各种物品。
[2]纸箱，普通未经过特别处理之记录或笔记用纸张。
[3]笔记用铅笔、橡皮擦、钢笔、墨水、自来水笔等。
[4]下列所示作业员个人用品
(a)香烟、洋火、打火机之类
(b)饮食品、泡泡糖之类
(c)宝石、装饰品、化妆品类
(d)钱包、钥匙、手表类
(e)卫生纸、手帕类
(f)小日记手册或其他个人物品
3.3.进出无尘室人员及在室内应注意事项
3.3.1.入室
进入无尘室者因要保持规定之清凈度必须尽力控制由外面带进无尘室内物品之产生污染。故必须依照图3-1之顺序进入无尘室。

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由玄关要进入有无尘室设备之办公室或预备室必须换拖鞋或布鞋。私服及私物(个人所带之物品)全部放在专用柜(LOCKER)中，并换成指定之工作衣，所有化妆及口红都要卸妆。进入更衣室前，脱掉拖鞋或布鞋，收纳于鞋柜内。在更衣室内须依照清凈区域标准之顺序脱衣并放入清凈柜(CLEANLOCKER)中。在洗脸室内依照清凈区域标准用清凈液体洗剂与清凈水在规定之洗手器并依3.3.1.[1]规定之方法洗手。视必要涂规定之保护液(HANDLOTION)按照3.3.1.[2](无尘衣穿着顺序)之顺序穿上无尘衣(含头罩等)，穿着时应避免碰到地面或其他物器。穿好无尘衣后，穿无尘室专用鞋(含包布)，再按照3.3.1.[1](洗手)之规定洗手后通过脚踏粘板(CE–LATINMAT)。如装没有空气洗尘室(AIRSHOWER)时，须按照规定之顺序由快速清凈空气流，将附着于人体或衣服表面之污染物除掉后进入无尘室。[1]洗手手是交叉(CROSS)污染之来源，故应视需要随时洗手。经过清凈化过程之另件或制品、包装材料等不可直接用裸手去拿。必须带干凈之手套或指套后摸触。
洗手器水龙头开关，最好采用脚踏式不用手的扭转式。视须要用清凈之液体洗剂，洗手后用清凈水清洗。并用里面装有HEPAFITER之自动烘干机(HANDDRYER)将手烘干。干燥后为保护皮层有时要涂上规定之HANDCREAM或HANDLOTION。[2]无尘衣穿着顺序入室者先由各人专用柜或一定之收纳场所取出无尘衣。包装好之无尘衣不能用手撕开，要用剪刀剪开取出，包装材料丢入垃圾箱中。穿着时避免袖子或下端污染，因此不能接触到地面，桌子或椅子等其他物品，站着穿，原则上从上面穿用。必要时装设专用之穿衣台。头罩或帽子戴用时须将全部头发收纳在里面不可露出。扣紧钮扣或FASTENER。如穿长统鞋(BOOT)须将长裤之下端放进长统鞋中。穿好无尘衣后再按照3.3.1.[1](洗手)之方法去洗手。3.3.2.离开无尘室作业之途中或终了要离开无尘室时为防止再进入及继续作业时之CROSS污染须按照图3.1.之次序退出。　　　要到准清凈室之换穿区域之前不可脱掉无尘衣。在换穿区域内，先脱掉无尘室专用鞋，收纳于一定之场所。视需要脱鞋后立即洗被污染之手，脱掉头罩或帽子，防止其污染收纳于规定之场所。脱无尘衣时应与穿着时一样免碰到地面或桌子为原则，由下方先脱收纳于一定场所并使用衣架。脱掉无尘衣后如要再进入无尘室时仍按照3.3.1.(进入)之次序行之。退出无尘时不必经过空气洗尘室(AIRSHOWER)。无尘室内之作业员为洗手要进入准清凈室时不必脱无尘衣。但要再进入无尘室时须通过脚踏粘板(MAT)，有空气洗尘室时也须再经过该室。要到洗手间而须脱掉无尘衣时仍按照3.3.2.(退出)之顺序行之。

3.3.3.在无尘室内之注意事项在无尘室内之作业人员或其他人员之移动或动作均为发尘源，直接影响制程(PROCESS)，另会产生间接影响影制程之气流之扰乱。为防止与控制上述情形，作业员须静静而细心注意工作之进行，基本上应注意下列事项：
[1]为防止产生影响制程之气流之扰乱不可在作业区域气流之上方放置物品或做其他作业。
[2]不必要之动作(作业外之动作)尽量避免以防止乱流及发尘。
[3]私人谈话(与作业无关之谈话)尽量避免。
[4]为尽力控制发尘量，步行及作业要静静地进行。
[5]作业要在清凈之作业台或在其上方进行，有污染之虑或掉在地上之物品不要使用。
[6]无尘衣要经常保持正常之着衣状态。
[7]工具、器具、笔记用具类为避免发生污染，谨慎使用，不用时须收入有盖子之箱或柜中，或一定之放置场所以清凈之状态保管之。4.无尘衣之管理

4.1.无尘衣※CLASS3或4要用连身式(上下一体之工作服)，并带头罩，无尘室专用布鞋加上BOOT及手套。※CLASS5用无尘衣有上下衣各1件、帽子、无尘室专用布鞋及鞋套、手套。※CLASS6用者有长上衣、帽子、专用布鞋、手套。也可穿用上级清凈度CLASS用之衣服。4.1.1.布料之必备条件作业后，洗衣后或施用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件。另者其布料是不易燃烧，不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物。经过磨擦不产生静电或带电性非常小，不易附着污染物之布料。综合上述各种特性要缝制无尘衣，其布料之必备条件如下：
[1]布料本身不会构成发尘源者，织维组织良好不易脱落，不会因材料疲劳(穿久)而产生织维组织断裂。
[2]由人体产生之尘粒不会透过衣服内面到外面者(亦即过滤效果大者)。
[3]尘粒子不易附着者。
[4]不易产生静电者。
[5]耐药品性优者。
[6]对多次洗衣及蒸汽灭菌等处理有耐久性者。
[7]洗条再生使用容易、不易皱、不必烫之布料。
[8]着衣感舒适者(不影响身体之行动，有柔软性)。
[9]透明度低者。
[10]容易缝制者。
4.1.2.缝制穿起来不会感觉不舒服、易活动，最好简单之设计。缝份愈少愈好。使用与布料同质之合成纤维车线缝制，须采用洗衣后不会断线、不起毛之缝制方法为原则。
4.1.3.头罩与帽子
[1]头罩
(a)在CLASS3或CLASS4之无尘室须用头罩，祇露出眼睛或脸表面部分，其他部分均须包覆者。
(b)在颈部部份连接上衣处须完全覆盖不能留空隙。
[2]帽子
(a)在CLASS5或CLASS6之无尘无菌室使用，如在医院之开刀房使用之型式者。
(b)须全部覆盖头发使毛发不露出来(毛发不能掉下来)，当然尺寸要符合且感舒适为原则。
4.1.4.无尘室用鞋在无尘室内不能穿普通一般用之布鞋或拖鞋，因为会产生污染。无尘室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，不管是布鞋、胶套鞋或高统鞋必须容易洗涤，故应采用塑胶底，其他如布则依照4.1.1.(布料之必备条件)所示之条件。高统鞋为防止松落在边缘及足踝处，胶套鞋则在足踝处缝贴适当幅度之平板橡胶。高统鞋之高度以裤子之下端能充分收纳于鞋中为原则。为防止在平滑之地面滑倒须用NON-SLIP之鞋底。
4.1.5.手套材料必须用4.1.1.(布料之必备之条件)之布料或薄橡胶或VINYL制。使用中会有不快感或妨害手指之触感者不可以使用。如医院手术用之VINYL手套有粉者使用前必须洗掉粉剂(POWDER)或用无粉VINYL手套。
4.2.无尘衣之管理无尘衣必须合乎各种性能及合乎各种作业之需要，并能发挥其机能为原则，因此在各使用场所制定[无尘衣管理基准]并遵照此基准管理之。并其管理应由专任人员担当。管理包括新衣受货验收、洗涤及修理都要细心周密行之。无尘衣之管理项目大致分为下列七大项：?新品及洗涤后之验收检查。?适当之分配使用。?穿、脱过程之管理。?使用状态(污染、损坏等)检查、洗涤及废弃时间之决定。…修理。?保管。?洗涤。
4.2.1.新品及洗涤后之验收检查
[1]数量及尺寸之确认。
[2]包装是否依照规定以目视确认。
[3]按照规定之标准做污染粒子测定(PARTICLECOUNT)。※JIS无尘衣污染粒子测定方法制订中。
[4]验收检查合格之无尘衣必须依规定之保管场所由专任人员保管。4.2.2.分配
[1]各种无尘衣必须分配给各种合乎需要之专用人员。
[2]订适当之分配日期，最好同一天为原则。
[3]无尘衣之使用者，除了无尘衣管理人员分配之衣服之外，不可使用其他衣服。
[4]使用者在分配后穿用之前须遵照衣服状态标准检查，如有异样须立即向专任管理人员报告。[5]使用者在使用中发生显然地污染或破损，须立即向专任管理人员报告。管理人员须立即检查并决定是否继续穿用、送修或洗涤。
4.2.3.暂时保管(使用中之保管)
[1]日常工作后之暂时保管则放置在各作业人员专用之保管场所即可。
[2]暂时保管位置也应该区分各作业性质及清凈度标准(CLEANINESSCLASS)不可混放在同一个地方。
[3]暂时保管时应避免各种无尘衣及各部位间之相互接触。
4.2.4.污染、损坏状态之检查、洗涤及废弃时间之决定。
[1]无尘衣之换洗时间(洗涤后使用至下次洗涤之时间)应依作业性质规定，并遵守换用时间。
●一般而言，无尘衣之换洗时间(使用期间)在高清凈区域为一天，其他区域为2～3天。
[2]无尘衣之换洗时间(使用期间)应由下列因素来做决定。?每天使用前之污染粒子测定结果。?预先订定之经验值。?意外之污染。
[3]同一工作场所使用之无尘衣最好全部以同一周期洗涤(同一换洗时间)。
[4]修理及废弃时间，依据所定之标准由专任管理人员决定之。
[5]送修或洗涤前之状态检查，要在规定之区域或在无尘室外面行之。
[6]拟送修或洗涤之无尘衣应放在有盖之专用容器保管。
4.2.5.修理
[1]须修理之部份，应附修理指示表。
[2]关于修理方法由各使用者根据无尘衣管理标准[缝制]项目定之。4.2.6.保管
[1]无尘衣之保管场所其清凈度应与使用该衣之无尘室所要求之条件同等级。
[2]保管应按衣服之种类区分并依各使用单位规定之场所行之。
[3]保管应依照使用该衣之无尘室清凈度等级区分行之。
4.2.7.洗涤在无尘衣之管理上，洗涤仍占了重要的要素，若洗涤不当反而会污染衣服，因此洗涤方法在管理上成为最重要之项目，目前多采用特殊之洗涤方法在无尘室中施行。洗涤要委托专门业者或在自设之无尘室内行之才可。
交付洗涤时应注意之事项如下：
[1]洗涤前应先检查有无破损，掉钮扣，或松紧带等副属品，如有缺陷应送修、换新或废弃。
[2]应在比使用该衣之无尘室清凈度等级高一级之无尘室内洗涤、干燥及包装。
[3]不管是湿式、干式洗涤用之水及溶剂均需经过蒸馏并须经过孔径0.2μm以下之薄膜过虑纲，视必要溶剂须经过两道以上过滤始能使用。
[4]先以湿式洗涤法用自来水洗，以除去水溶性污染物，最后用蒸溜过之溶剂洗衣油性污染物。
[5]湿式洗涤用之水温，条件如下：一聚酯纤维(POLYESTERFIBER)60～67℃(最高70℃)耐隆纤维(NYLONFIBER)50～55℃(最高60℃)
[6]若须渗入防静电化合物时要在最后洗清时添加。
[7]采用粘扣带之无尘衣应在粘扣之状态下洗涤。
[8]干燥须以洗涤专用之无尘室清凈空气行之。
[9]干燥后要在洗涤专用之无尘室内折迭，并收容在干凈的塑胶袋或耐隆布做的袋中，必要时须要双重包装。
5.无尘室之管理
5.1.1.一般注意事项
[1]普通注意事项为保持无尘室的清凈度，必须经常维持正常的气流状态。因此，负责无尘室操作之专门人员必须经常检查并防止会扰乱气流之一切备品、物品等被带进无尘室内。但作业上必需之物品或设备尽量维持最少限度，并尽量配置在不会扰乱气流之位置为原则。
[2]家俱等设备用之材料无尘室内使用之设备材料，尽量使用不会产生尘粒之不锈钢或有适当之表面处理；或用耐磨性佳之钢品、铝制品及优良塑胶制品等。
[3]构造上述设备等之构造，尽量采用构造简单且与其他物品接触或磨擦时不会产生磨耗粉质，在各角部份要圆滑，避免有突出之角。
[4]家俱等设备之维修必须在无尘室内用之家俱等设备必须保持干凈，有必要补修时立即修理，经常保持良好状态，修理困难者立即废弃不用而换新。
5.1.2.桌子不得不用木制者，表面须施EPOXT树脂加工以防止发尘。要用简单的桌子不能有抽屉、脚板，及侧面板等。桌脚下端应套上橡胶或塑胶套。
5.1.3.椅子尽量采用没有背及脚踏板之椅子，椅脚之高度以坐下来脚适当地接触到地板为原则，万一非用高椅子不可时要准备脚踏台。椅脚下端应装有塑胶制之小轮子或应套上橡胶套。为避免产生尘粒尽量不使用椅垫(CUSHION)为原则，万一不得不用椅垫时要用发尘性少之材料完全封盖，因为椅垫容易损伤而在损伤之状态下使用易产生尘粒，故须特别注意。
5.1.4.搬运箱有关原料、半制品或产品之搬运箱及作业上须要之工具箱均须用特制之专用箱，须附盖，下面装有橡胶或塑胶者。容易清洁之构造，并须定期检查及清洁。
5.1.5.搬运车构造简单为原则，不要使用可折迭式。放置物品之表面材料特别采用耐磨性高者。车轮之轴承必须用充填黄油密封式滚珠轴承，并用耐磨性高之橡胶轮胎。重量轻并容易清洁之构造。须做定期检查，维修及清洁。
5.1.6.笔记用品
[1]纸类要用特别加工，发尘量少(或全无)之纸类。如需要带进以一般纸类印刷之文件时需要放在透明之塑胶袋中。或有防尘处理之纸类印刷者。铅笔、橡皮擦、自来水笔、蜡笔、普通纸类均不能带进无尘室内。笔记时要用塑胶做的原子笔，无尘或塑胶纸类。
5.1.7.告示板、黑板类普通黑板及粉笔当然不能使用，必要时准清凈室内(低一级之清凈室)用白板，FELTPEN，清凈室专用之擦布。告示板要用自立式，并附有轮子可移动式者，并放置在准清凈室内。告示板之构造为不易聚积灰尘或其他污染物并容易清洁者。告示用之纸当然要用如

5.1.6.项规定之专用纸并告示愈少愈好佳。
5.1.8.垃圾箱垃圾箱不能放置在此清凈度CLASS5清洁之无尘室内。
5.2.无室内之制造及有关设备
5.2.1.制造及有关设备之选定
[1]要选用发尘性少之设备，尤其须注意活动部份之发尘，由于制造、处理而产生之粒子及使用材料。
[2]制造及有关设备之构造容易聚积灰尘粒子或会散发尘粒之构造，尽量避免之。
[3]生产用之水、瓦斯、药品等仍为污染之原因，故应配备过滤装置。
5.2.2.制造及有关设备之配置及装设。
[1]当计划如何配置各种设备时应事先考虑不易聚积尘粒或污染物质之配置方法，并容易清洁为原则。
[2]如真空泵等容易产生污染物质之设备，应装设在无尘室外，但必须装设在无尘室内时应有适当的覆盖并做局部排气。
[3]当配置瓦斯管、给水管、电气配管等能源供给设备时，其构造须考虑到容易清扫，不易聚积污染物为要。或考虑其他方法如设管道间或暗沟等。
[4]与制造设备连接之地方也须要慎密考虑。如作业台之配线等可利用中空之脚柱，配线在其中，尽量避免露出在外面而使配管复杂，最好内藏于有平坦之表面之包围内。
5.2.3.制造及有关设备使用上应注意事项
[1]制造及有关设备，有时难免聚积尘粒，故要做定期之清洁。
[2]磨耗之机件，皮带等会产生尘粒，故要做定期更换。
[3]室内之温湿度控制，尤其对湿度之控制要特别注意；因空调设备如运转、停机频繁时设备本身会结露而生锈，因此产生尘粒，故须特别小心。
5.2.4.制造及有关设备之维护
[1]当维护有关设备时其产生之尘粒会影响产品，故尽量搬到无尘室外修理。
[2]对于修理业者有必要让他们熟知，并遵守3.3.项(进出无尘室人员及在室内应注意事项)。
[3]如能在靠近无尘室设立一间维护专用之工作房仍为无尘室管理上最理想的规划。
[4]在无尘室内使用之工具原则上要做为无尘室内专用者，除特别理由之外不可带出无尘室外。
5.3.无尘室运转设施无尘室用之装置、设备、配件等均能维持良好之无尘室清凈度者乃最重要之条件。
5.3.1.过滤纲(FILTER)
[1]预滤纲或称初级过滤纲(PRE–FILTER)
(a)目的－－预滤纲是为延长ULPA(ULTRALOWPENETRATIONAIR)及HEPA(HIGH–EFFICIENCYPARTICULATEAIR)过滤纲之使用寿命为目的。以过滤外气中之粗尘粒及室内产生之较大尘粒为使命。
(b)选用－－随使用环境及使用目的装设中性能或高性能之过滤纲组合1段或2段使用之。
(c)管理－－装在HEPA或ULPAFILTER前之预滤纲，每个月1次或1次以上做检查，污染很厉害者用水洗(水洗式)或更换。纤维质滤纲如有破损者应换新。
[2]终端过滤纲(FINALFILTER)
(a)目的－－按无尘室清凈度条件之要求过滤0.3μm以上或0.1μm以上之尘粒子为目的。
(b)选用－－按使用目的考虑粒径(PARTICLESIZE)无尘室清凈度、维护管理、压力损失等各条件选定HEPAFILTER或ULPAFILTER。
(C)管理－－依照5.5.2.(风速)规定测量风速时检查有无风速减少、风车皮带松弛、送风机系统或终端FILTER装配迫紧(PACKING)之松弛、过滤纲阻塞，查其原因并调整之。填垫材料或封漏材料老化时会产生空气泄漏，故要做定时检查及查漏工作。
依据5.5.6.[7]方法做终端过滤纲之查漏试验而发见有漏之地方应用SILICONSEALER补漏，如由填垫(PACKING)部分漏时应锁紧螺丝或换新填料，确定无漏为止。装设过滤纲后每年最少2次检查FILTER本体周边有无漏出污染空气。发现阻塞很厉害之ULPA或HEPAFILTER应立即更换。
5.3.2.空气洗尘室(AIRSHOWER)
[1]目的－－作业人员或物品要进入无尘室以前先以经过HEPAFILTER之高速清凈空气将附着于人体，衣服或物品表面之污染物吹落并吸收之设备。
[2]选用－－空气洗尘室进口及出口之门不能同时开启，同时规定时间之空气吹出未完前通往无尘室之门不能开启，也就是门之开闭要自动式或电磁LOCK式。但逢到临时紧急情况时也能随意打开者。根据对人及对物之各别用途或每次使用之人数而决定采用之大小或型式，也应考虑到预备室(前室)与无尘室之配列选用直进型或L型。
[3]管理遵照厂商供给之使用手册(MANUAL)做维修工作，惟吹出口，内壁及底板须每天清扫一次。至于吹出风速及空气清凈度监视工作要依照
5.5.(无尘室监视工作)项之规定实施。
5.3.3.传递箱(PASSBOX)
[1]目的－－当物品(含材料、产品或半制品)进入无尘室及防止因规定风量以上之流失而形成无尘室内风压之降下之装置。
[2]选用－－PASSBOX进出口门不可同时开启，应装有连锁装置(INTERLOCKSTSTEM)。底板须有耐磨性且平滑而不产生尘粒为原则。开闭很频繁时应装设附有HEPAFILTER之空气门(AIRCURTAIN)以防止外气之侵入，同时限制无尘室内清凈空气之流出外面。
[3]管理－－PASSBOX内部应在每天开工前依照规定之方法擦拭清洁。

[此贴子已经被作者于2006-9-7 12:52:20编辑过]

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