回复: 【转】自己拆解安捷伦气质5973,修理分子涡轮泵
现在拆真空室和分子涡轮泵。我是两者一起拆,安捷伦工程师是分开拆。我认为一起拆较好,因为能少动一个部件就少动。拧掉固定真空室的六个螺母

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您所在的用户组无法下载或查看附件取出后部涡轮泵电器控制模块。先向左转一点,再向后拉。(右边两个卡位,左
前有一个卡位)

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您所在的用户组无法下载或查看附件拆除分子涡轮泵的插头和真空管路。拆插头时注意:用手摸到插头后部,会有个手柄,小心逆时针旋转,插头自己就掉出来了。

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您所在的用户组无法下载或查看附件好了,现在就要找个有力气的,双手拿住真空室向上提出(小心真空室后部的真空硅管,别搞破了)真空室和分子涡轮泵。拆解完毕。
安装回去的过程向反。不过要注意几点。首先是电器控制模块有个卡位,安回去时要卡到位。

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您所在的用户组无法下载或查看附件其次,后部的电线要记住插哪里,不要插错了。这是全部插完后的样子。

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您所在的用户组无法下载或查看附件最后还是要提醒大家,没事不要自己拆,拆坏一个部件那就很要命了,安捷伦的报价会吓你一跳(垄断的好处)!
欢迎大家和我交流,
smallhome@163.com