[资源分享] 基于MEMS技术的微型气相色谱仪的研制

基于MEMS技术的微型气相色谱仪的研制
  曹德祥
  　　介绍了一种采用微电子机械系统(MEMS)的新型微型气相色谱仪,重点介绍了微进样系统、微热导检测器(TCD)的设计和制做技术。通过微细加工技术.将微通道、微阀、微检测器等三维器件像IC芯片一样集成在硅片上,并将这些关键器件和常规的毛细管分析柱连用,达到快速、高灵敏度和经济的样品分析。该仪器具有便于携带、功耗低、能在线分析、使用简单等特点。
【作者单位】：安捷伦科技(上海)有限公司 上海;200131
【关键词】：微电子机械系统;气相色谱仪;微热导检测器;微进样系统;微细加工
【分类号】：TH833
【DOI】：CNKI:SUN:FXYQ.0.2007-03-008
【正文快照】：
　　概述微电子机械系统(miero eleetro meehanieal sys- tems，MEMs)是微电子技术的拓宽和延伸，它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了微电子与机械系统的一体化。微电子机械系统技术是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术川。MEMS技术可将机械

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