声表面波气体传感器化学敏感膜研究进展
骆国芳;吕晖;曹丙庆;赵建军;潘勇
化学吸附敏感膜是声表面波(SAW)气体传感器的关键组成部分。本文介绍膜材料对化学蒸气的吸附原理及SAW传感器响应的理论计算方法;对敏感膜材料的研究现状作了综述,包括有机聚合物、超分子化合物、无机物膜材料、分子液晶以及生物分子;展望了膜材料的发展前景。
【作者单位】:防化研究院;防化研究院;防化研究院;防化研究院;防化研究院 北京;102205;北京;102205;北京;102205;北京;102205;北京;102205
【关键词】:声表面波;气体传感器;化学敏感膜;毒剂;爆炸物
【分类号】:TP212.2
【DOI】:CNKI:SUN:FXYQ.0.2007-03-003
【正文快照】:
前言声表面波(surfaee aeousti。wave,SAW)气体传感器是基于声表面波波速和频率随外界大气组份变化而发生漂移的原理制作成的一种新型传感器[’·,〕。1979年Wohltjen和Dessy首次发表了将声表面波传感器用于气相成分分析的论文。SAW传感器具有体积小、频率高、成本低、灵敏度

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